红外器件钝化膜专用磁控溅射系统研制及验证

作者：佘鹏程; 龚俊; 黄也; 罗超; 范江华

来源：技术与市场, 2022, 29(11): 39-40.

• 红外器件
• 钝化膜
• 磁控溅射
• 多腔群集式
• 高均匀性

为了探讨红外器件钝化膜工艺专用磁控溅射系统的设计，通过分析红外器件钝化膜工艺特性，采用多腔群集式结构、多梯度真空等设计优化了专用磁控溅射系统，实现了8英寸范围内高均匀性薄膜沉积和基片可旋转上置可靠传输，其性能稳定可靠。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十八研究所