微机电光学电流传感器的设计

作者：赵本刚; 徐静; 高翔; 刘玉菲; 吴亚明

来源：电子元件与材料, 2006, (12): 27-30.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2006.12.007

• 电子技术
• 微机电系统
• 光学电流传感器
• 扭转微镜
• 双光纤准直器 electronic technology
• micro-electronic mechanic system (MEMS)
• optical current sensor (OCS)
• torsional micro-mirror
• dual fiber collimator

提出了一种检测50Hz交流电的微机电光学电流传感器。通过电磁学、微机电与光学方法说明了传感器的敏感原理与光学转换原理,结合工艺条件给出了器件的设计要求,并利用matlab软件模拟分析了传感器的仿真测试结果。计算表明,器件可以测试1~7.2kA的交流电,大电流下的灵敏度可达到0.01dB/A以上。

• 单位
  中科院研究生院; 传感技术国家重点实验室; 中科院上海微系统与信息技术研究所