水基流延制备钛酸锶钡及介电挠曲电性能研究

作者：乔文豪; 刘军^*; 柯俊鹏; 杨弘; 骆英

来源：电子元件与材料, 2022, 41(09): 941-948.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1778

• 钛酸锶钡
• 水基流延
• 介电性能
• 挠曲电效应

以柠檬酸三胺为分散剂，聚乙烯醇(PVA)为粘结剂，聚乙二醇(PEG)为增塑剂，采用水基流延的方式制备钛酸锶钡(BST)流延膜。实验结果表明:当BST固含量为84.5%，柠檬酸三胺的质量分数为0.35%,PVA的质量分数为5%,PEG与PVA的质量比为0.6时，可制备出高质量的BST流延膜。叠加不同层数的BST流延膜加压后，在1235℃烧结可以得到不同厚度的BST薄片，其介电常数为3300，介质损耗为0.03。测试了所制备BST薄片的挠曲电性能，发现随着薄片厚度从400μm减小到200μm，横向挠曲电系数μ12从0.23μC/m增大到0.43μC/m，等效压电应变常数d33eff从396 pC/N增加到6306 p C/N，表现出明显的尺寸效应。可以预测，在BST薄片厚度达到微纳米尺度时，挠曲电材料要远优于常规的压电材料。

• 单位
  江苏大学