摘要

研究基片斜切角度对YBCO薄膜微观结构及超导电性能的影响。采用脉冲激光沉积(PLD)法在0°~6°斜切(001)SrTiO3基片上制备了具有c取向的YBCO薄膜。用XRD和TEM对薄膜微观结构进行了分析,用标准四引线法测定薄膜电阻-温度关系,从而确定薄膜的超导电性能。结果表明,随斜切角度的增大,薄膜晶体质量下降,晶格弯曲畸变程度增大,超导临界转变温度降低,转变宽度增大。