射频等离子工艺设备中的自动阻抗匹配技术

作者：赵英伟; 张文雅; 郝晓亮

来源：电子技术应用, 2020, 46(10): 61-78.

DOI：10.16157/j.issn.0258-7998.200439

• 等离子
• 自动阻抗匹配
• 射频
• 相位
• 幅度

介绍了射频阻抗匹配的基本原理和常见的匹配网络类型,以串并联电容组成的Г型匹配网络为例,利用史密斯圆图,阐述了阻抗匹配的工作原理。介绍射频等离子技术在微电子工艺设备中的应用。给出了自动匹配网络的检测电路、电机驱动电路和控制电路,提出了优化自动阻抗匹配能力的方法。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所