为了解决微电子加工行业产生的含铜废酸液的资源回收问题,笔者研究了含铜废酸液中铜的电沉积过程。同时,分析了不同电流密度与电压下电沉积铜的去除率、能耗和沉积层质量,讨论了影响该种废液沉积的各种因素。结果表明,较小的电流密度下,铜的沉积效果最好,铜的去除率可达98%,为了提升铜的沉积效果,需要投加添加剂抑制硝酸根的还原反应,调整和监控溶液pH。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
