极薄(<10μm)或易剥蚀样品的分析可通过低频(≤2 Hz)LA-ICPMS实验来获得足够长度的有效数据,从而克服高频激光实验对此类样品采集有效数据不足的缺点。由于低频LA-ICPMS分析实验信号强度低,数据离散度较大,因此很少被应用。本文分析了激光剥蚀过程中气溶胶的管道传输状态,设计了一套叠加积分匀化处理算法。虽然低频激光获得的灵敏度有待提高,但该方法仍可以极大地降低低频分析数据的离散度,提高分析精度。