实现与p型ZnS准一维纳米材料欧姆接触的电极及其制备方法

作者:于永强; 蒋阳; 揭建胜; 吴春艳; 王莉; 朱志峰
来源:2010-12-16, 中国, CN201010592449.3.

摘要

本发明公开了一种实现与p型ZnS准一维纳米材料欧姆接触的电极及其制备方法,其特征是电极是以Cu膜和A膜构成的Cu/A复合电极,其中A膜为Au膜、Ni膜或Pt膜,复合电极中与p型ZnS材料相接触的是Cu膜,外层为A膜。通过电子束蒸发的方式首先在p型ZnS材料上形成Cu膜,再在Cu膜的表面形成A膜。本发明方法解决了金属电极与p型ZnS准一维纳米材料直接形成欧姆接触的问题,可用于p型ZnS准一维纳米材料相关器件制备与研究,电极制备方法简单,可靠,易于操作。