新型高灵敏度GLV光学电流传感器设计与性能分析

作者：鲁亮; 穆参军; 李四华; 吴亚明

来源：功能材料与器件学报, 2009, (01): 39-45.

• 光栅光阀(GLV)
• 光学电流传感器
• 双端固支梁 grating light valve(GLV)
• optical current sensor(OCS)
• double-clamped beam

本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器。这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点,且测量芯片制作工艺简单、成本低廉。通过有限元分析和数值计算对器件的模态、工作性能、热膨胀特性等进行了分析模拟,结果表明:测量芯片量程达500A~2000A,并可通过改变设计参数灵活调整;一阶固有频率接近60kHz,大电流下灵敏度接近0.2dB/A,外界温度变化±50K时传感器测试误差在0.7%以内。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中科院研究生院; 中科院上海微系统与信息技术研究所