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摘要
本发明公开了一种具有屏蔽结构的毫米波低损耗桥型传输线及其制备方法。所述传输线包括芯片衬底层、接地金属层、高阻钝化层、桥型金属传输线及干扰屏蔽金属层。本发明采用拱形空气桥工艺、薄膜制备工艺和衬底蚀刻工艺制备了部分结构悬浮的传输线,保证传输线周围无空气以外介质接触,以此极大减少传输损耗,并通过在传输线结构上方制备接地金属干扰屏蔽结构实现信号干扰隔绝,减少电磁波辐射损耗。本发明相较于传统芯片设计的共面波导传输线结构,可以大大减少高频信号传输的衬底介质损耗和电磁辐射损耗,减少对地寄生电容,有效解决电路设计中的临线串扰问题。
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