一种用于金刚石生长的PLC真空压力控制方法及装置

作者:张金风; 任泽阳; 吴勇; 王东; 崔傲; 操焰; 郝跃
来源:2020-08-04, 中国, CN202010774596.6.

摘要

本发明涉及一种用于金刚石生长的PLC真空压力控制方法及装置,该方法包括:获取第一工艺气体参数和第一目标压力、第二工艺气体参数和第二目标压力、第三工艺气体参数和第三目标压力;根据第一工艺气体参数控制对应的隔膜阀和质量流量计运行,获取第一实时压力,根据第一实时压力与第一目标压力的比较结果对比例阀进行控制;根据第二工艺气体参数控制对应的隔膜阀和质量流量计运行,获取第二实时压力,根据第二实时压力与第二目标压力的比较结果对比例阀进行控制;根据第三工艺气体参数控制对应的隔膜阀和质量流量计运行,获取第三实时压力,根据第三实时压力与第三目标压力的比较结果对比例阀进行控制。该方法实现了各个阶段对真空压力的精确控制。

  • 单位
    西安电子科技大学芜湖研究院