首先简要介绍了铁磁材料平面霍尔效应(PHE)的原理,然后介绍了基于平面霍尔效应的传感器的研究进展。其中包括传感器尺寸及形状的变化和材料的改进、制作工艺及流程。接着介绍了PHE传感器的几种典型结构,总结了温度、铁磁层薄膜厚度等对传感器灵敏度的影响。最后,讨论了目前存在的问题及发展前景。
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