力平衡模式下MEMS陀螺正交误差实时校正系统设计

作者：朱晓磊; 郭述文; 徐大诚; 樊波; 卜峰

来源：传感器与微系统, 2021, 40(09): 74-77.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)09-0074-04

• 微机电系统陀螺
• 正交误差
• 力平衡模式
• 刚度
• 零偏

针对微机电系统(MEMS)陀螺受加工误差影响,驱动与检测模态之间存在与科氏力相位差为90°的正交耦合力,限制了陀螺零偏的稳定性的问题,设计了力平衡模式下的正交误差实时校正系统。系统科氏环路采用力平衡法实现闭环检测;正交环路通过调整校正电压,消除结构刚度耦合,实现实时校正。实验结果表明:实时校正系统有效抑制了正交误差,改善了陀螺零偏性能。在5～65℃温度范围内,零偏温漂由手动一次性校正的0.75°/s变为实时校正的0.1°/s,减小了7.5倍;室温下,零偏不稳定性由4.05°/h降低为0.96°/h。

• 单位
  苏州大学