射频磁控溅射制备的CdSe薄膜的光电学性质

作者：管雪; 金健; 顾广瑞^*

来源：延边大学学报(自然科学版), 2022, 48(02): 138-142.

DOI：10.16379/j.cnki.issn.1004-4353.2022.02.002

• CdSe薄膜
• 磁控溅射
• 光学性质
• 电学性质

采用射频磁控溅射技术在不同溅射功率下制备了CdSe薄膜，并利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、能量色散X射线光谱仪(EDAX)、紫外可见近红外(UV-VIS-NIR)分光光度计和霍尔效应测试仪研究了溅射功率对薄膜的结构和光电学性质的影响.研究表明：增加溅射功率有利于增强薄膜的结晶性能；随着溅射功率的增加，薄膜的光学带隙和电阻率逐渐减小，载流子浓度逐渐增加，即薄膜的光电性能不断增强.该研究结果可为CdSe薄膜在光电器件方面的应用提供参考.

• 单位
  延边大学