半导体新材料的广泛使用与不断发展,使得生产半导体新材料过程产生了大量的清洗废水,如果对其处理不当,容易导致环境污染。因此,论文研究了半导体新材料清洗废水处理技术,并结合目前成功的工程案例经验,对半导体新材料废水进行研究,明确了采用分水及针对不同废水材料采用不同的预处理工艺,并采用A2/O+MBR组合工艺处理半导体新材料清洗废水,能保证出水达到DB 44/26—2001《广东省水污染物排放限值》第二时段一级排放标准要求。