摘要

基于电容法测量气体静压导轨气膜厚度的原理,进行供气压力与气膜介电常数相关性的研究。实验结果表明,环境条件不变的情况下,供气压力范围在0.1~0.48MPa之间,气膜介电常数与供气压力呈显著负相关并符合4阶多项式关系,拟合决定系数R2均大于0.94,该结果为气体静压导轨气膜精准电容模型的建立提供了依据。

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