激光位移传感器在角度测量中的应用

作者：朱万彬; 钟俊; 莫仁芸

来源：传感器与微系统, 2010, (06): 131-133.

DOI：10.13873/j.1000-97872010.06.041

• 角度测量
• 激光位移传感器
• 最小二乘拟合
• 精度 angle measurement
• laser displacement sensor
• least-squares fitting
• precision

激光位移传感器因其较高的测量精度和非接触测量特性,可应用在很多方面,将其用在测量工件的角度上能够实现角度的高精度测量。通过步进电机带动激光位移传感器扫描二面角的2个面,然后对测量的数据采用Matlab程序做最小二乘拟合,得到二面角两边的斜率,从而求出角度。实验中采用的位移传感器分辨率为0.3μm,导轨和步进电机重复定位精度高于3μm,则测量角度的精度高于1″。

• 单位
  应用光学国家重点实验室; 中国科学院研究生院