WS2光电探测器光电响应特性研究

作者：左康年; 白泽文; 坚增运; 常芳娥^*

来源：西安工业大学学报, 2021, 41(03): 332-344.

DOI：10.16185/j.jxatu.edu.cn.2021.03.012

• WS2光电探测器
• 机械剥离法
• 光电流
• 光响应度
• 光探测率

为探究WS2的光电探测器光电响应特性,本文以机械剥离法制备WS2晶体薄膜,采用定位转移法在氧化硅片衬底上制备WS2光电探测器,对WS2晶体薄膜进行表征分析,测试并分析了器件的光电性能。实验结果表明:对波长260～850 nm范围的光表现出明显的光响应特性,在630 nm波长的光照条件下的光电流、光响应度以及光探测率最高;器件的上升时间和衰减时间分别为0.7 ms和0.5 ms。文中制备的光电探测器具有具有较好的光电响应特性。

• 单位
  西安工业大学; 材料与化工学院