基于单晶硅材料的微摩擦测试机构及其试验研究

作者：郭占社; 孟永钢; 吴昊; 苏才钧; 温诗铸

来源：摩擦学学报, 2006, (03): 193-197.

DOI：10.16078/j.tribology.2006.03.001

• 单晶硅
• 模态分析
• 一阶谐振频率
• 动态摩擦系数 single-crystal
• mode analysis
• one class resonant frequency
• dynamic friction coefficient

设计出1种能够模拟基于单晶硅材料微机电器件侧面摩擦副摩擦磨损状况的试验机,有效模拟可动MEMS器件摩擦副之间磨损的真实状况,介绍了试验机测试机构的工作原理并从理论计算及有限元模拟分析2方面对其结构模态进行分析,在超净间内(千级、室温、相对湿度RH约50%),利用光学显微镜、CCD图像采集系统及计算机对梳齿驱动器的谐振频率及摩擦副的动态摩擦系数进行了测试.结果表明:采用所研制的试验机测得的谐振频率为5 600,与理论计算及模拟分析的结果(5 590和5 641)非常接近;摩擦副的动态摩擦系数在0.24~0.35之间;动态摩擦系数随着施加在摩擦副上的正压力变化而变化.

• 单位
  摩擦学国家重点实验室