甚长波碲镉汞红外焦平面探测器

作者：李雄军; 邹雷; 赵鹏; 杨超伟; 熊伯俊; 王向前; 张应旭; 刘艳珍; 李红福; 赵榆松; 张绍裕; 李立华^*

来源：红外与毫米波学报, 2022, 41(05): 818-824.

• 甚长波
• p-on-n
• 碲镉汞
• 焦平面探测器
• R0A

采用砷离子注入p-on-n平面结技术制备了77 K工作温度下截止波长分别为13.23μm和14.79μm、像元中心距为25μm的甚长波640×512探测器，并对其基本性能和暗电流进行了测试和分析。结果表明，对于截止波长为13.23μm的甚长波640×512(25μm)，器件量子效率为55%,NETD平均值为21.5 mK，有效像元率为99.81%；对于截止波长为14.79μm的甚长波640×512(25μm)，器件量子效率为45%,NETD平均值为34.6 mK，有效像元率为99.28%。这两个甚长波器件在液氮温度下的R0A分别为19.8Ω·cm2和1.56Ω·cm2，达到了“Rule07”经验表达式的预测值，器件噪声主要受散粒噪声限制，显示出了较好的器件性能。

• 单位
  昆明物理研究所