三氟化硼制备及纯化进展

作者：赵鹏德; 常琳; 李子宽; 范正林

来源：低温与特气, 2021, 39(06): 1-24.

• 三氟化硼
• 电子气体
• 制备
• 纯化

三氟化硼是一种具有重要意义的高附加值电子气体,随着半导体产业的高速发展,对电子气体的纯度提出了更高要求,文中详细论述了三氟化硼合成制备及纯化的研究进展,以此根据实际生产制备条件,选择不同纯化方法进行提纯。