碲锌镉光子计数探测器的制备及性能的研究

作者：郑伟; 吴召平

来源：集成电路应用, 2019, 36(03): 27-29.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2019.03.007

• 光子计数
• 探测器
• 碲锌镉
• 化合物半导体

研究移动加热器法THM生长的碲锌镉室温半导体用于光子计数探测器的可行性。它要求探测器具有较低的漏电流、较高的光子计数率。在探测器的研制过程中,发现晶体退火能在原有探测器特性的基础上能进一步提高碲锌镉探测器的性能,使探测器达到漏电流能小于0.1 nA,光子计数率达到1.5 Mc/s,可应用于光子计数及能谱CT等应用场合。