磁控溅射制备钽铬非晶态合金涂层及其性能研究

作者：李彩燕; 郭策安; 柳泉^*; 王蕴欢; 赵朗

来源：沈阳理工大学学报, 2022, 41(02): 31-36.

• 磁控溅射
• 钽-铬合金
• 非晶态涂层
• 纳米力学性能
• 极化曲线

以Ta和Cr分别作为射频和直流磁控溅射靶材，采用双靶共溅射方式在炮钢PCrNi3MoVA表面制备Ta含量(原子百分数)分别为50%、60%、70%的Ta-Cr非晶态合金涂层。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)/能谱仪(EDS)、纳米压痕仪等表征Ta-Cr涂层的物相组成、表观形貌、化学成分和力学性能；采用极化曲线测量方法评价Ta-Cr涂层的耐蚀性。结果表明：调控双靶的溅射功率可改变Ta在涂层中的含量；Ta-Cr涂层因其晶化温度高而易形成由非晶态相与Cr晶相组成的两相组织；随着Ta含量降低，Ta-Cr涂层的硬度、弹性模量与韧性均升高，Ta50Cr50涂层的硬度和弹性模量最高，分别为14.2GPa和205.2GPa;不同Ta含量的Ta-Cr涂层均具有较低的自腐蚀电流密度(Jcorr),Ta60Cr40的Jcorr仅为0.588μA/cm2,耐蚀性最佳。

• 单位
  沈阳理工大学