碟形天线耦合的CVD石墨烯室温太赫兹探测器

作者：魏仲夏^*; 吴云; 曹正义; 陶然; 李忠辉

来源：固体电子学研究与进展, 2022, 42(06): 456-460.

DOI：10.19623/j.cnki.rpsse.2022.06.006

• 太赫兹探测器
• 石墨烯
• 场效应晶体管

基于本征高迁移率、无能隙光谱以及非特征频率吸收的特性，石墨烯在太赫兹频段的调制器和探测器应用被予以厚望。制备了碟形天线耦合的CVD石墨烯场效应晶体管太赫兹探测器，实现了室温的高灵敏太赫兹探测。采用Au膜辅助转移技术屏蔽了有机物对石墨烯的沾污，配合自对准工艺控制了栅源间寄生效应，石墨烯器件场效应迁移率达7 000 cm2/(V·s)，且在室温下表现出较高的太赫兹探测灵敏度，0.3 THz频率下器件的电压响应率为50 V/W，噪声等效功率为58 pW/Hz0.5。