膜厚对NiFe单层膜及NiFe/FeMn双层膜性能的影响对比研究

作者：钟秋雨; 刘昕; 陈川; 孙科^*; 邬传健; 郭荣迪; 余忠; 兰中文

来源：磁性材料及器件, 2020, 51(04): 1-13.

DOI：10.19594/j.cnki.09.19701.2020.04.001

• NiFe单层膜
• NiFe/FeMn双层膜
• 钉扎效应
• 共振场
• 形貌
• 磁性能

采用直流磁控溅射法在Si(111)基片上制备不同厚度的Ni Fe单层膜、NiFe/FeMn双层膜,结合原子力显微镜(AFM)、振动样品磁强计(VSM)及电子顺磁共振(EPR)波谱仪研究了纳米膜的微观形貌、表面粗糙度、静磁性能及微波磁性能。结果表明,相对于Ni Fe单层膜,反铁磁性覆盖层FeMn的引入,使Ni Fe/FeMn双层膜的共振场(Hres)下降,与自旋波共振相关的有效交换场得以提升,说明在一定的外加稳恒磁场下,利用铁磁/反铁磁(FM/AF)多层膜结构所产生的钉扎效应能够提高薄膜的共振频率。在20～70 nm的NiFe薄膜厚度范围内,单层膜的共振场为1289～1354Oe,而双层膜的共振场降至1089～1118 Oe。

• 单位
  电子科技大学; 全球能源互联网研究院