高纯Ti3SiC2粉体制备工艺的研究

作者：何创创^*; 杨俊; **琴; 李智敏

来源：电子元件与材料, 2021, 40(12): 1189-1201.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.0053

• Ti3SiC2粉体
• 高温固相反应
• 纯度
• Si含量
• 吸波材料

以2Ti/xSi/3TiC(x=1.6,1.8,2.0,2.4,3.0)为原料,采用高温固相反应法成功制备了高纯Ti3SiC2粉体。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对制备样品的物相和形貌进行分析,利用差示扫描量热分析(DSC)、热重分析(TG)研究了Ti3SiC2的反应过程和Si的作用机理,利用能谱仪(EDS)和X射线光电子能谱分析仪(XPS)对制备样品的微区成分和化学元素进行了表征分析。结果表明:当Si适度过量(1.6≤x≤2.4)时,有助于Ti3SiC2合成反应的进行,同时Si在合成Ti3SiC2的反应中起着多重作用,其中Ti-Si共晶液相的生成是合成Ti3SiC2的关键。当x=2.0和2.4时,制备Ti3SiC2粉体的纯度高达99.5%以上,平均颗粒粒径约为5μm,分散性良好。

• 单位
  西安电子科技大学