微加速度计是一类极为重要的微惯性传感器，广泛应用于振动检测、惯性测量、惯性导航等多个技术行业。随着微纳加工技术的日趋成熟，微加速度计技术的发展受到广泛关注。中文对近年来基于微机电系统和微光机电系统的微加速度计最新研究进展进行综述，简要介绍各种微加速度计的基本工作原理、优势和不足之处，并对各种类型微加速度计的性能进行综合对比分析，讨论出适用于高精度惯性测量及惯性导航等应用方向的微加速度计设计方案，最后分析其仍面临的各种技术挑战，展望未来发展方向。
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