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摘要
本实用新型公开了一种化学浴沉积实验装置,涉及实验装置技术领域,框架呈框状结构,摆动平台设于框状结构内,转轴贯穿摆动平台设置并与摆动平台固连,其一端与框架转动连接,另一端与固设与框架上的步进电机的输出端固连；加热台设于摆动平台上,反应仓设于加热台上,加热台和反应仓通过卡具与摆动平台连接固定；框架底部设各支脚,并通过各支脚支撑固定。本实用新型采用单轴周期往复摇摆方式替代磁力搅拌,解决了磁力搅拌中溶液涡流引起的反应不均的问题,在不锈钢框架中间安置旋转轴,利用步进马达驱动旋转轴摇摆,保证溶液温和地混合充分,通过控温平板进行加热,加热更为精准,基片温度更加均匀,提高沉积薄膜的均匀性,进而提高薄膜质量。
- 单位
