硅粉形貌对人工合成高纯碳化硅粉料的影响

作者：宁丽娜; 胡小波; 王英民; 王翎; 李娟; 彭燕; 高玉强; 徐现刚

来源：功能材料, 2008, (12): 1989-1991.

• 高纯
• 合成
• 碳化硅粉 high purity
• synthesis
• SiC powder

合成了适于半绝缘碳化硅单晶生长的高纯度SiC粉料。实验发现,不同的硅粉形状、粒度以及合成温度、时间都对合成产物的形貌、组成和产率有影响。合成产物的形貌通过扫描电子显微镜(SEM)观察,结构通过粉末衍射法(XRD)测定。结果表明,合成产率与Si粉的表面积有十分重要的关系,表面积越大,合成产率越高。合成温度和时间则决定了合成产物中-αSiC和-βSiC的比例。辉光放电质谱(GDMS)测量了合成产物的杂质含量,表明合成产物符合半绝缘SiC单晶的生长要求。

• 单位
  山东大学; 晶体材料国家重点实验室