UBMS合成的SiNO/Ti6Al4V薄膜的性能研究

作者：**; 杨苹; 冷永祥; 孙鸿; 黄楠

来源：功能材料, 2009, (3): 433-435.

DOI：10.3321/j.issn:1001-9731.2009.03.026

• 磁控溅射
• SiNO薄膜
• 耐磨性
• 耐蚀性

利用非平衡磁控溅射技术在Ti6Al4V合金表面制备SiNO薄膜,对不同氮气流量下SiNO薄膜样品的耐磨性和耐蚀性进行研究.结果表明,SiNO薄膜样品具有优异的耐磨性和耐蚀性能.研究认为影响SiNO薄膜性能的主要因素为薄膜中的氮原子百分含量及化合物存在状态.

• 单位
  西南交通大学