磁控溅射技术制备ZnO透光薄膜

作者：俞振南; 姜乐; 熊志华; 郑畅达; 戴江南; 江风益

来源：南昌大学学报(理科版), 2007, (05): 452-455.

• ZnO
• 磁控溅射
• 透光光谱
• 粗糙度
• 溅射功率

采用RF磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了择优取向的ZnO薄膜;通过台阶仪、X射线衍射技术、原子力显微镜和分光光度计分别测量了不同溅射功率条件下淀积的ZnO薄膜厚度(淀积速率)、结晶质量、表面形貌与粗糙度、透光光谱,报道了该薄膜结晶质量、薄膜粗糙度与其在可见光区透光率的关系。

• 单位
  教育部发光材料与器件工程研究中心; 南昌大学