针对目前多数测头约束支撑机构刚度固定问题,构造了一种三梁型变刚度微纳测头。利用压电叠堆驱动器对约束梁固定端施加轴向载荷以改变其支撑刚度,进而改变测头整体刚度。变刚度测头的应用可以减小接触力,提高稳定性,提升工艺可行性和动态响应等性能,且理论上能够达到各向同性刚度,研究结果为该类型变刚度微纳测头奠定了重要的前期基础。
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