片上集成慢光波导的半导体激光器

作者：姚丹阳; 张春福; 郝跃; 陈大正; 成亚楠

来源：2020-04-23, 中国, ZL202010324587.7.

本发明公开了一种片上集成慢光波导的半导体激光器,主要解决现有半导体激光器出射光束远场发散的问题。其包括：激光器有源区(1)、衬底(2),转向结构(3)和慢光波导结构(4),该激光器有源区(1)位于衬底(2)外延层方向的一侧,该转向结构(3)位于衬底(2)外延层方向的另一侧,用于改变激光器有源区垂直出射的激光光束传播方向；该慢光波导结构(4)位于衬底(2)沿脊宽方向的一侧,用于实现相干光束阵列的发射,降低光束远场发散角。本发明有助于大幅度降低半导体激光器的远场发散角,从而提高半导体光源的系统集成度,可用于激光红外干扰,片上光互联及空间光通信。

• 单位
  西安电子科技大学