飞秒激光制备硬脆材料红外微光学器件及应用

作者：祁金勇; 郑家鑫; 张鑫; 赵智炎; 刘子健; 田克帅; 李超; 刘学青^*

来源：中国激光, 2023, 1-27.

• 飞秒激光
• 硬脆材料
• 红外微光学器件
• 红外微光学应用

近年来，红外微光学器件由于在红外传感与成像，红外探测等领域具有重要的应用价值得到了飞速发展，直接在硬脆材料衬底上制备的红外微光学器件更是在苛刻环境应用领域中具有不可代替的作用。针对此需求，已经有研究人员提出了多种高精密制造方法。其中，飞秒激光加工由于其真三维加工等独特优势已经被广泛应用于各种复杂三维微纳结构的制备过程，也为解决硬脆材料红外微光学器件的制备问题提供了新的思路。本文从飞秒激光加工技术、常用红外光学材料，以及基于飞秒激光加工的硬脆材料红外微光学器件的制备及应用方面入手，梳理了近些年本领域的发展现状，重点介绍了折射器件和衍射器件等红外微光学器件，以及红外传感与成像、红外探测等领域的应用，并对飞秒激光加工硬脆材料红外微光学器件的发展趋势进行了展望。

• 单位
  吉林大学; 集成光电子学国家重点实验室