多晶硅用换热器的清洗是一项重要的工作,对其进行定期清洗很有必要,不仅能降低生产用的耗费,还可以提高工作效率,把积留已久的污渍清理干净,因此,相关人员一定要引起重视。同时,对于多晶硅系统中还原功能能量的利用也进行了进一步的探讨和分析,对于能量的综合利用系统也进行了计算和设计的研究,以为更多的多晶硅换热器的清洗提供参考意见。文章就电子级多晶硅的特点,对换热器的清洗及清洗时应注意的安全事项进行分析。