垂直腔面发射激光器（VCSEL）具有成本低、速率高、功耗低和易于集成等优点，在短距离数据通信等领域具有广泛的应用。随着使用寿命、失效率等要求的不断提高以及器件应用需求的不断增大，VCSEL的可靠性受到了人们的广泛关注。研究发现，VCSEL失效的主要原因与位错的产生和扩展有关。为了提高器件的可靠性，对VCSEL内位错形成的原因进行分析，并系统介绍了位错扩展的动态特性和内在机理。
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