(Zn0.9Mg0.1)TiO3微波介质陶瓷低温烧结研究

作者：王京; 李恩竹; 邹蒙莹; 张树人

来源：压电与声光, 2015, 37(04): 697-700.

• ZnO-TiO2
• 低温共烧陶瓷(LTCC)
• 微波介质
• ZnO-B2O3-SiO2玻璃
• 钛酸锌
• 低温烧结

采用传统固相法对使用Mg取代一部分Zn形成的六方钛铁矿型无限固溶体(Zn0.9Mg0.1)TiO3陶瓷进行了低温烧结研究。低熔点玻璃ZnO-B2O3-SiO2(ZBS)的加入提高了烧结致密度,使烧结温度降低到900℃以下,制得了不含Zn2TiO4的单一六方(Zn0.9Mg0.1)TiO3相陶瓷,其微波介电性能优异。加入质量分数为0.5%的ZBS玻璃时,在900℃成瓷良好,介电常数εr=20.53,品质因数与频率的乘积Q×f=61 630GHz(f=7.4GHz)。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室