非对称双光路IC芯片引脚共面性检测仪

作者:萧泽新; 韩文峰; 张腾飞; 曹杰; 李鹏
来源:2011-01-19, 中国, ZL200920140784.2.

摘要

本实用新型公开了一种非对称双光路IC芯片引脚共面性检测仪,包括光学图像采集系统、自动识别软件系统、芯片进料定位机构、光路切换机构和电机控制机构的机电控制系统,机电控制系统分别与光学图像采集系统和自动识别软件系统连接,在芯片进料定位机构的左右两边对称设置有照明光源箱、三片聚光镜、光阑和左、右半反半透镜,其特征是:光路切换机构设置在主支撑架上,光学图像采集系统的光路传递为左右非对称的双光路传递结构,该传递结构主要由左、右直角棱镜、中间直角棱镜、中间半反半透镜和连接架组成。优点是:结构新颖、成本较低、检测速度较快,性能可靠。