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摘要
本实用新型公开了一种二自由度宏微精密定位平台装置,包括定位平台本体部分、检测部分及控制部分；X、Y轴宏动平台可在直线电机的驱动下实现宏动,XY轴微动平台由压电陶瓷驱动器驱动,所述检测部分包括用于检测XY轴微动平台位移信号的电容位移传感器、用于检测X轴宏动平台位移的X轴光栅位移传感器及用于检测Y轴宏动平台运动位移的Y轴光栅位移传感器；所述控制部分包括数据采集卡、运动控制卡、计算机、压电陶瓷控制器及直线电机伺服放大器,该装置采用了宏-微驱动结合的方式,可以在宏动粗位移下拥有快速响应、大行程的特点,又具有柔性铰链体积小、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高的优点,可以实现高精度精密定位。
- 单位
