针对MEMS器件的缓冲防护，建立了以响应加速度峰值比来评估结构缓冲性能的不同厚度比双层异质防护结构动力学响应模型。通过数值仿真，外层环氧树脂与内层聚氨酯厚度比为2︰1的双层防护结构缓冲性能最佳。其响应加速度峰值比可达到0.47,误差小于4.60%。通过对MEMS器件的防护结构进行优化设计，为双层粘弹性材料用于MEMS器件抗高过载防护结构的研究和应用提供了理论基础和技术支持。
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