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摘要
电磁作动器具有输出力大、行程长、无接触等优势，在通信、自动测试、电力电子等领域有着广泛的应用，但受限于体积大、制造工艺复杂，难以满足相关领域电子系统向微型化、集成化的发展需求。针对上述问题，应用平面型集成线圈及高深宽比微结构设计，制造了一种微型化电磁作动器的原型样机，初步测试结果表明，器件的输出力可达毫牛量级，输出位移大于50μm,响应时间小于10 ms,为进一步开展相关器件研究探明了可行的技术路径。
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单位上海交通大学; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室
