激光超声波的检测方法研究进展（特邀）

作者：廉玉东; 韩世伟; 虞洋; 齐萱; 王雨雷; 吕志伟; 白振旭; 王禹贺; 栾楠楠

来源：光电技术应用, 2023, 38(02): 22-36.

• 激光超声
• 无损检测
• 超声换能器
• 光学检测
• 进展

超声波检测方法是激光超声无损技术的重要环节。首先，基于激光超声缺陷检测技术，对超声信号的接收方案进行综合阐述，介绍了压电换能器、电容微机械换能器、电磁换能器、空气耦合器检测超声的优劣点和研究难点，同时指出了它们的发展方向。其次，分析了利用纯光学手段进行激光超声检测的方法，其分为以外差干涉、F-P干涉、双波混合干涉、激光多普勒测振为代表的干涉检测法和包括刀片法、气体耦合激光声学、泵浦-探针在内的非干涉检测法。最后展望了激光超声检测技术可视化和智能化研究前景。

• 单位
  电子信息工程学院; 河北工业大学