基于HTCC敏感芯体SnO2薄膜NO2传感器

作者：杨永超; 刘洋; 王大兴; 程振乾; 皮倩倩; 刘玺

来源：传感器与微系统, 2021, 40(04): 90-95.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)04-0090-03

• 高温共烧陶瓷(HTCC)
• SnO2薄膜
• NO2传感器

采用高温共烧陶瓷(HTCC)技术设计制备半导体气体传感器敏感芯体。敏感芯体分为两层结构:加热层和叉指电极层。运用磁控溅射技术在叉指电极层制备SnO2薄膜敏感层,制成气体传感器。对气体传感器进行测试,结果表明:传感器在300℃工作温度下对NO2表现出优异的气敏性能,可实现(10～200)×10-6范围内NO2快速响应,100×10-6NO2灵敏度高达32.3,响应/恢复时间为2.2/2.6 s,且传感器一致性较佳。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所; 哈尔滨工业大学