具有集成式固态薄膜参比电极的GaN生物传感器及制作方法

作者：张鹏; 张晨阳; 谢涌; 马晓华; 施建章; 郝跃

来源：2016-05-17, 中国, ZL201610326568.1.

本发明公开了一种具有集成式固态薄膜参比电极的GaN生物传感器及制作方法,本发明提出的基于GaN生物传感器的集成式固态薄膜参比电极与GaN生物传感器现用外置参比电极相比,电极位置固定,采用微电子工艺制作,参比电极精密度更高,且与GaN器件同时制作使得制作成本低,集成度高,易于进行小型化和便携式GaN生物传感器的实现。

• 单位
  西安电子科技大学