物理气相沉积TiN涂层结合力的研究现状与展望

作者：曹美蓉; 魏仕勇; 刘建军

来源：热处理技术与装备, 2009, 30(4): 27-29,35.

DOI：10.3969/j.issn.1673-4971.2009.04.006

• 结合力
• 应力
• 中间薄膜层

物理气相沉积涂层质量指标主要通过涂层与基体结合强度来评定,因此,结合力决定了涂层是否可用.镀层的结合力强度既取决于膜/基界面的物理和化学相互作用,同时也取决于界面区的微观结构.本文阐述了薄膜中残余应力形成的原因,并分析了其引起的机理.综述了中间层Ti薄膜,梯度镀层及渗氮层与基体界面结合力的关系,从而提高界面结合强度.为合理设计PVD新型涂层提供依据.

• 单位
  江西省科学院应用物理研究所