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摘要
微纳光纤环形谐振腔具有尺寸小、灵敏度高的优点，被广泛应用于应力、温度、湿度等物理量的传感，如何提高器件的稳定性和灵敏度成为近年来研究的热点。面向倏逝波传感应用，仿真分析了不同尺寸参数和封装材料对微纳光纤谐振腔倏逝波效应和光学传输特性的影响。通过工艺和封装材料的优化，制备出品质因数达到104的高品质结型环形谐振腔。研究结果表明：高折射率、低折射率差的封装材料有助于增强倏逝波效应，保护器件并提高器件的品质因数，提升倏逝波传感的灵敏度。本研究为微纳光纤环形谐振腔在倏逝波传感领域的应用积累了研究基础。
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