激光加工微孔质量的研究

作者：张云龙; 孙树峰^*; 王茜; 张丰云; 刘力; 刘世光

来源：激光与光电子学进展, 2021, 58(19): 1-20.

• 激光技术
• 激光加工
• 微孔质量
• 工艺参数
• 打孔方式
• 加工环境

激光加工凭借加工精度高、效率高、无污染、应用材料范围广的独特优势,成为加工微孔的首选,尤其是在高质量微孔的加工中有着不可替代的作用。介绍了激光加工微孔的优势及研究意义,总结了激光加工微孔的质量特征(如深径比、锥度、圆度、重铸层等),综述了激光加工微孔质量的研究现状,讨论了打孔方式、激光工艺参数(如脉冲宽度、波长、重复频率等)和加工环境(如真空、气体、液体等)三个因素对激光加工微孔质量的影响及其造成影响的原因,并对激光加工微孔的发展方向和今后研究的重点进行了总结。

• 单位
  青岛理工大学