基于铁电掺杂的隧穿场效应晶体管及其制备方法

作者：刘艳; 闫钦元; 周久人; 韩根全; 郝跃

来源：2021-05-08, 中国, ZL202110501010.3.

本发明公开了一种基于铁电掺杂的隧穿场效应晶体管及其制备方法,主要解决现有器件杂质浓度不均匀,开关电流比与亚阈值摆幅大及功耗高的问题。其包括：衬底(1)、氧化层(2)和沟道层(3),沟道层两侧分别是漏极(11)和源极(12),沟道层上方依次为铁电材料构成的源极极化栅(6)、控制绝缘介质栅(4)、铁电材料构成的漏极极化栅(5),该源极极化栅与漏极极化栅两侧为隔离绝缘介质(7),源极极化栅上方是源极极化电极(8),该控制介质栅的上方是控制栅电极(9),该漏极极化栅上方是漏极极化电极(10)。本发明利用漏极极化栅与源极极化栅的铁电极化性质,实现对源漏掺杂区载流子浓度的精确控制,提升了器件的整体性能。

• 单位
  西安电子科技大学