金刚石颗粒双阴极等离子溅射铬镀层显微结构研究

作者：王超; 揭晓华; 刘烨; 徐江; 陶洪亮; 魏菊

来源：人工晶体学报, 2014, 43(02): 361-374.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2014.02.021

• 双阴极等离子溅射
• 镀层
• 金刚石

通过FIB-SEM观察了镀覆温度为850℃双阴极等离子溅射镀铬金刚石的表面形貌;利用TEM、XPS分析了镀层厚度、微观结构及表层元素价态;在光学显微镜下观察酸洗后金刚石的镀层变化情况。结果表明,经双阴极等离子溅射镀覆后的金刚石在其表层形成了厚度约为500 nm的柱状结构镀层,镀层晶粒尺寸约为10 nm;酸洗后镀层仅出现轻微脱落,说明金刚石铬镀层十分致密。

• 单位
  广东工业大学; 广东奔朗新材料股份有限公司; 南京航空航天大学