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摘要
综述了采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的进展，阐述了影响AZO薄膜光电特性的主要工艺参数，分析了陈化时间、热处理工艺、铝掺杂量、催化剂种类、及薄膜厚度因素等对AZO薄膜结构、光电性能的影响，指出了溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的优势与不足，展望了未来的研究方向。
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综述了采用溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的进展，阐述了影响AZO薄膜光电特性的主要工艺参数，分析了陈化时间、热处理工艺、铝掺杂量、催化剂种类、及薄膜厚度因素等对AZO薄膜结构、光电性能的影响，指出了溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的优势与不足，展望了未来的研究方向。
